金屬濾袋在微電子行業中的應用主要集中在以下幾個方面:
1. 超凈室空氣過濾:在微電子器件的制造過程中,超凈室的空氣質量直接影響到半導體晶圓、集成電路(IC)等產品的質量。金屬濾袋因其耐高溫、耐腐蝕和易于清潔的特性,常用于超凈室的空氣凈化系統中,作為初效或中效過濾器,有效去除空氣中的大顆粒塵埃和微生物,為后續的精密制造提供一個高度潔凈的環境。
2. 化學液體過濾:在芯片制造過程中,需要使用大量的化學試劑和溶劑,金屬濾袋用于這些化學液體的過濾,去除其中的雜質和顆粒物,保證化學處理過程的純凈度,減少對晶圓表面的污染,從而提高芯片的良品率。
3. 氣體過濾:在氣體配送系統中,如用于蝕刻、沉積等工藝的特殊氣體(如硅烷、氟化物氣體等),金屬濾袋用于氣體的預過濾,去除氣體中的雜質和微粒,保護下游精密設備,防止污染,同時也能耐受氣體處理過程中的高溫和腐蝕性。
4. 廢水處理:微電子生產過程中產生的廢水含有多種化學物質,金屬濾袋可用于廢水處理系統,過濾去除水中的懸浮固體、金屬離子和其他污染物,有助于達到環保排放標準,減少對環境的影響。
5. 設備保護:在微電子生產設備的進氣口或排氣系統中,金屬濾袋用于捕捉可能損壞精密設備的顆粒物,如在光刻、濺射、蒸鍍等設備中,保護昂貴的設備免受污染和損害。
6. 特殊材料回收:在某些特定的生產環節,如貴金屬回收過程中,金屬濾袋用于過濾溶液,有效回收利用貴重金屬,如金、銀等,減少資源浪費,提高經濟效益。