圓盤過濾器在電子半導體行業中扮演著關鍵角色,主要應用于以下幾個方面:
1. 超純水制備: 在半導體晶圓制造過程中,需要使用極高純度的超純水進行清洗和冷卻。圓盤過濾器作為超純水處理系統的一部分,可以去除水中的顆粒物、有機物和微生物,確保水質達到嚴格的電子級標準。
2. 化學品過濾: 半導體制造中使用了多種高純度化學品,如蝕刻液、光刻膠去除液等。圓盤過濾器能夠對這些化學品進行精密過濾,去除微小顆粒和雜質,保證化學品的純度和一致性,從而提高半導體器件的良品率。
3. 廢氣處理: 在半導體生產過程中,會產生含有有害顆粒物和揮發性有機化合物(VOCs)的廢氣。圓盤過濾器可以作為廢氣處理系統的一部分,對廢氣進行初步或深度過濾,減少對環境和人體健康的潛在危害。
4. 潔凈室空氣過濾: 半導體潔凈室對空氣質量要求極高。圓盤過濾器可集成于潔凈室的HVAC系統中,用于去除空氣中的微粒污染物,保持潔凈室內的空氣質量穩定,滿足嚴格的ISO潔凈等級要求。
5. 晶圓清洗后的廢水處理: 半導體制作過程中,晶圓清洗后的廢水中含有各種微粒和化學殘留物。圓盤過濾器可以用來過濾廢水中的顆粒物,便于廢水進一步處理和回收利用,同時降低對環境的影響。綜上所述,圓盤過濾器在電子半導體行業的應用對于保障產品質量、提高生產效率、減少環境污染和資源浪費等方面都具有重要意義。