在集成電路清洗用水過濾中，圓盤過濾器是至關重要的設備之一，主要應用于以下幾個方面：1. 預過濾階段： 圓盤過濾器首先用于對進水進行粗過濾，去除水中的懸浮顆粒、微生物和其他宏觀雜質，保護后續精密過濾系統不受大顆粒物質的沖擊和堵塞。

2. 超純水制備： 集成電路清洗用水需要達到超純水級別，圓盤過濾器作為多級凈化系統中的一個環節，可以高效去除微米級別的顆粒物，確保水質滿足后續EDI（電去離子）或RO（反滲透）膜等深層凈化技術的進水要求。

3. 顆粒物控制： 集成電路生產過程中，即使是最微小的顆粒也可能導致產品失效，因此，圓盤過濾器必須確保清洗用水的顆粒物含量極低，以防止顆粒物在清洗過程中附著在芯片表面。

4. 連續凈化與循環利用： 集成電路清洗過程中使用的超純水往往需要循環利用，圓盤過濾器在循環系統中可以連續過濾清洗用水，去除清洗過程中產生的微粒和雜質，維持水質的穩定性和純度。

5. 環保與經濟效益： 通過圓盤過濾器的高效過濾，不僅有助于提高集成電路的良品率，還能減少水資源浪費，符合產業綠色制造和可持續發展的要求。綜上所述，圓盤過濾器在集成電路清洗用水過濾中扮演著關鍵角色，對提升產品品質、保證生產穩定性以及實現資源的有效利用具有重要意義。